一、簡介

導(dǎo)電薄膜四探針電阻率測試儀BEST-300C是運用四探針原理測量方塊電阻的專用儀器，電阻率和電導(dǎo)率同時顯示。儀器 測試范圍0-10MΩ，小分辨率0.1uΩ，電阻小精度0.01%，精度2%�？捎糜跍y試半導(dǎo)體、⾦屬涂層導(dǎo)電薄膜等材料的電阻和電阻率。
導(dǎo)電薄膜四探針電阻率測試儀BEST-300C配置各類測量裝置可以測試不同材料之電導(dǎo)率。液晶顯示，無人工計算，并帶有溫度補償功能，電導(dǎo)率單位自動選擇，BEST-300C 材料電導(dǎo)率測試儀自動測量并根據(jù)測試結(jié)果自動轉(zhuǎn)換量程，無人工多次和重復(fù)設(shè)置。選配：配備軟件可以由電腦操控，并保存和打印數(shù)據(jù)，自動生成圖表和報表。

四端測試法是目前較之測試方法，主要針對高精度要求之產(chǎn)品測試；本儀器用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門，是檢驗和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料質(zhì)量的一種重要的工具。

自動雙極板材料四探針低阻測試儀采用4.3吋大液晶屏幕顯示，同時顯示電阻值、電阻率、方阻、電導(dǎo)率值、溫度、單位自動換算，配置不同的測試治具可以滿足不同材料的測試要求。測試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測試項目要求選購.提供中文或英文兩種語言操作界面選擇，滿足國內(nèi)及國外客戶需求。

二、特點

●測試探頭直排和矩形可選；

●標(biāo)配RS232、LAN、IO、通訊接⼝；

●可配戴軟件查看和記錄測試數(shù)據(jù)；

●電阻⾼精度：0.01%，小分辨率0.1uΩ；

●方電阻精度：1%，小分辨率：0.1uΩ；

●雙電測原理，提⾼精度和穩(wěn)定性；

三、適用范圍

● 四探針治具測試片狀或塊狀半導(dǎo)體材料、金屬涂層以及導(dǎo)電薄膜等材料的電阻和電阻率

● 開爾文測試夾直接測試電阻器直流電阻；

四、參數(shù)

1. 便于查看的顯示/直觀的操作性：高亮度、超清晰4.3寸彩色LCD顯示；操作易學(xué)，直觀使用；

2. 基本設(shè)置操作簡單，方阻、電阻、電阻率、電導(dǎo)率和分選結(jié)果；多種參數(shù)同時顯示。

3. 精度高：電阻基本準(zhǔn)確度： 0.01％；

方阻基本準(zhǔn)確度：1%；

電阻率基本準(zhǔn)確度：1%

4. 整機測量大相對誤差：≤±1%；整機測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度：≤±1%

5. 正反向電流源修正測量電阻誤差

6. 恒流源：電流量程為：DC100mA-1A；儀器配有恒流源開關(guān)可有效保護被測件，即先讓探針頭壓觸在被測材料上，后開恒流源開關(guān)，避免接觸瞬間打火。為了提高工作效率，如探針帶電壓觸單晶對材料及測量并無影響時，恒流源開關(guān)可一直處于開的狀態(tài)。

7. 可配合多種探頭進(jìn)行測試；也可配合多種測試臺進(jìn)行測試。

8. 厚度可預(yù)設(shè)，自動修正樣品的電阻率,無查表即可計算出電阻率。

9. 自動進(jìn)行電流換向,并進(jìn)行正反向電流下的電阻率(或方塊電阻)測量,顯示平均值.測薄片時,可自動進(jìn)行厚度修正。

10. 雙電測測試模式，測量精度高、穩(wěn)定性好.

11. 具備溫度補償功能，修正被測材料溫漂帶來的測試結(jié)果偏差。

12. 比較器判斷燈直接顯示，勿需查看屏幕，作業(yè)效率得以提高。3檔分選功能：超上限，合格，超下限，可對被測件進(jìn)行HI/LOW判斷，可直接在LCD使用標(biāo)志顯示；也可通過USB接口、RS232接口輸出更為詳細(xì)的分選結(jié)果。

13. 測試模式：可連接電腦測試、也可不連接電腦單機測試。

14. 軟件功能（選配）：軟件可記錄、保存、各點的測試數(shù)據(jù)；可供用戶對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。

粉末電阻率測試方法

粉末電阻率的測試通常采用四探針法。這種方法利用四根等間距的探針插入粉末樣品中，通過測量探針間的電壓和電流來計算樣品的電阻率。四探針法具有測量準(zhǔn)確、操作簡便等優(yōu)點，是粉末電阻率測試的方法。

說明

①電阻率ρ不僅和導(dǎo)體的材料有關(guān)，還和導(dǎo)體的溫度有關(guān)。在溫度變化不大的范圍內(nèi)，幾乎所有金屬的電阻率隨溫度作線性變化，即ρ=ρo(1+at)。式中t是攝氏溫度，ρo是O℃時的電阻率，a是電阻率溫度系數(shù)。

②由于電阻率隨溫度改變而改變，所以對于某些電器的電阻，必須說明它們所處的物理狀態(tài)。如一個220V100W電燈燈絲的電阻，通電時是484歐姆，未通電時只有40歐姆左右。

③電阻率和電阻是兩個不同的概念。電阻率是反映物質(zhì)對電流阻礙作用的屬性，電阻是反映物體對電流阻礙作用的屬性。



四探針法作為一種高精度的電阻測量技術(shù)，在多個領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用，主要包括以下方面：

1. 半導(dǎo)體材料研究

用于測量硅、鍺、砷化鎵等半導(dǎo)體材料的電阻率、載流子濃度及摻雜類型，直接關(guān)聯(lián)雜質(zhì)含量分析。

在晶圓制造中檢測電阻率均勻性，確保外延片、離子注入片等工藝質(zhì)量。

通過溫度依賴性研究，分析半導(dǎo)體材料的電學(xué)性能變化。

2. 薄膜材料分析

適用于金屬膜、氧化物薄膜（如氧化鋁、氮化硅）及半導(dǎo)體薄膜的電阻率測量，評估其導(dǎo)電性能。

在光伏領(lǐng)域檢測太陽能電池薄膜的方阻分布，優(yōu)化材料制備工藝。

對微納米金屬燒結(jié)體（如銀、銅）的電阻率進(jìn)行高精度測量，避免接觸電阻干擾。

3. 納米材料與石墨烯表征

測量石墨烯的薄層電阻和載流子遷移率，分析晶界、褶皺對電導(dǎo)率的影響。

微四探針技術(shù)（M4PP）可實現(xiàn)晶圓級石墨烯電導(dǎo)性能的高分辨率評估，誤差低于0.1%。

4. 導(dǎo)電材料檢測

用于合金、陶瓷等導(dǎo)電材料的電阻率測試，支持大尺寸樣品直接測量。

在微電子器件制備中快速檢測器件的電學(xué)性能。

5. 工業(yè)與科研應(yīng)用

通過電阻率mapping技術(shù)，分析材料表面電學(xué)性能的空間分布。

結(jié)合范德堡法，適用于任意形狀樣品的電阻率測量，擴展應(yīng)用場景。